產(chǎn)品名稱:四氟化碳?四氟化碳氣體 四氟甲烷 全氟化碳
產(chǎn)品等級:分析純
產(chǎn)品純度:99.999%
包裝規(guī)格:40L
英文名稱:carbon tetrafluoride
英文別名:Tetrafluoromethane
CAS:75-73-0
EINECS:200-896-5
分子式:CF4
分子量:88
物化性質(zhì):- 熔點:-184℃
相對密度:-128
用途:用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體及制冷劑
產(chǎn)品參數(shù):
名稱 |
化學式 |
純度(%) |
壓力(Mpa) |
充裝量(m3/kg) |
閥門|螺紋出口 |
鋼瓶容積(L) |
鋼瓶尺寸(cm) |
鋼瓶皮重(kg) |
四氟化碳 |
CF4 |
99.999 |
4 |
28公斤 |
PX-32|G5/8 |
40 |
29×145 |
50 |
四氟化碳 |
CF4 |
99.999 |
4 |
30公斤 |
CGA580 |
44 |
29×145 |
50 |
四氟化碳 |
CF4 |
99.999 |
4 |
5公斤 |
PX-32|G5/8 |
8 |
22×70 |
10 |

春雨四氟化碳質(zhì)量標準
四氟化碳產(chǎn)品質(zhì)量標準 QUALITY STANDARD FOR CF4 |
純 度 |
CF4 |
≥99.9 |
≥99.99 |
≥99.999 |
氮 氣 |
N2 |
≤300ppm? |
≤10ppm |
≤3ppm |
氧 氣 |
O2 |
≤100ppm |
≤5ppm |
≤1ppm |
水 分 |
H2O |
≤10ppm |
≤1ppm |
≤1ppm |
一 氧 化 碳 |
CO |
≤50ppm |
≤1ppm |
≤1ppm |
二 氧 化 碳 |
CO2 |
≤50ppm |
≤1ppm |
≤1ppm |
酸 度 |
HF |
≤1ppm |
≤0.1ppm |
≤0.1ppm |
其它氟碳化合物 |
F-C |
≤350ppm |
≤2ppm |
≤2ppm |
六 氟 化 硫 |
SF6 |
≤50ppm |
≤5ppm |
≤1ppm |
中國船舶重工集團公司(簡稱中船重工,CSIC)成立于1999年7月1日,是在原中國船舶工業(yè)總公司所屬部分企事業(yè)單位基礎(chǔ)上組建的特大型國有企業(yè),是國家授權(quán)投資的機構(gòu)和資產(chǎn)經(jīng)營主體,由中央管理。
中船重工是中國最大的造修船集團之一,其中包括國內(nèi)外著名的大連船舶重工集團有限公司、渤海船舶重工有限責任公司、武昌造船廠、山海關(guān)船舶重工有限責任公司、青島北海船舶重工有限責任公司、大連船用柴油機廠和中國艦船研究院、中國船舶科學研究中心等。集中集團公司旗下優(yōu)質(zhì)船舶配套資產(chǎn),發(fā)起設立了中國船舶重工股份有限公司,并陸續(xù)組建了中國船舶重工國際貿(mào)易有限公司、中船重工船舶設計研究中心有限公司、中船重工財務有限責任公司、中船重工科技投資發(fā)展有限公司和中船重工物資貿(mào)易集團有限公司等一批專業(yè)公司。
我公司長期向其供應優(yōu)質(zhì)高純5N(99.999%)四氟化碳氣體。
產(chǎn)品用途:
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。
1. 可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對于硅和二氧化硅體系,采用CF4-H2反應離子刻蝕時,通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。
2. 在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、
泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
3. 由于化學穩(wěn)定性極強,CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。
4. 四氟化碳的溶氧性很好,因此被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。目前已
產(chǎn)品包裝:
(一)包裝—四氟化碳鋼瓶
名稱:鋼質(zhì)無縫氣瓶 (執(zhí)行標準GB5099\ISO9809)
(二)存放—四氟化碳
1.氣瓶使用和檢驗遵照國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》的規(guī)定。
2.氣瓶不得靠近火源,不得受日光曝曬,與明火距離一般應該不小于10米,氣瓶不得撞擊。
3.氣瓶的瓶子嚴禁沾染油脂。
4.氣瓶內(nèi)的氣體不能全部用盡,應該留不小于0.04MPa剩余壓力。
在老鼠身上獲得成功,在275米到366米的深度內(nèi),小白鼠仍可安全脫險。
減壓閥
品牌 |
GENTEC |
型號 |
|
測量范圍 |
1-25(MPa) |
適用介質(zhì) |
四氟化碳 |
額定出口壓力 |
0.6(MPa) |
額定流量 |
3(m3/h) |
用途 |
減壓 |
結(jié)構(gòu) |
單級式 |
工作原理 |
正作用式 |
環(huán)境溫度 |
-45-60(℃) |
|